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技术要求-防静电工作台表面技术要求

防静电工作台的工作表面要为ESDS产品提供静电泄放通路,同时考虑到操作人员的安全性,一般采用静电耗散材料。ANSI/ESD S20.20和IEC61340-5-1标准对防静电工作台表面的要求如下图(防静电工作表面的要求)所示。

1、防静电工作表面直接与ESDS产品相接触,是除人员接地以外最重要的ESD防护设施。

2、防静电工作表面的上限电阻是这样计算的,假设带电体的静电电压为1300V,对地有100pF的分布电容,要求在1s的时间内泄放到100V,可求得泄漏电阻为2.6*10e9Ω。因此,统一规定静电耗散材料的静电泄漏电阻值的上限为1.0*10e9Ω。

3、对地电阻越小,静电越不容易积聚,因此从静电防护的角度上讲,对地电阻越小越好。但为了操作者的安全,对地电阻应设置下限。我国的交流电为250V或380V,考虑到EPA工作区的人员安全,取人体安全电流为0.5mA,可求得安全电阻为:分别是5.0*10e5Ω或7.5*10e5Ω。因此,统一规定静电耗散材料的静电泄漏电阻的下限为1.0*10e6Ω即1MΩ。

4、在CDM模型可能出现的情况下,点对点电阻的下限应大于1.0*10e4Ω。点对点的电阻是指工作表面两点之间的电阻;点对地的电阻是指工作表面上的一点对公共接地点的电阻。

5、EPA工作区的工作表面应并联接地,不可串联接地。

6、为确保防静电工作表面的静电耗散特性,应定期进行检查,至少每季度进行一次检测。

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