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静电危害二:静电对洁净工艺和环境的危害

静电电场能使导电材料感应带电,能使用绝缘材料极化带电,在小物体上产生电偶。静电场对小物体的吸引作用,正是电偶在电场中受力的结果。静电能吸附尘埃,比如:静电除尘、静电喷涂、静电复印都是人们利用静电场吸附作用的典型案例。但是不受控制的静电吸附,在照相机镜头上、在计算机屏幕上造成尘埃污染,尤其是在有洁净度要求的生产工艺中,静电吸附的尘埃对产品质量造成极大危害。生物制药、微电子光刻、液晶板、触屏板、硬盘等生产中要求洁净度处在ISO 3级—ISO 5级,大于0.1um粒径的尘埃粒子要求控制在10e3-10e5个/m3以下。洁净室环境的表面和被加工的材料上必须控制静电电荷的积累。

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