静电放电系统化防护的关键

一、人员防护

人员是整个EPA中,产生静电最多,最难管控的一个元素。

美国ESDA对于人员接地技术要求如下:

以上为常规要求,对于要求更高的工序,为了从源头上避免静电产生,应该配备防静电服装、防静电手套、指套、防静电椅及防静电地板来降低静电的生成。

二、环境防护

环境防护主要关注空间游离静电荷的累积、空间由于其他设备造成的静电场的存在、以及由于产品静电累积产生的力学效应—吸尘,所以除了对静电管控外,还需要对空气中的颗粒浓度进行监控,二者相辅相成。

主要需要用的产品为离子化静电消除器、静电状态实时监测系统、粘尘地垫、粘尘滚筒;

S20.20对于离子化静电消除器及实时监测的要求如下:

三、制程防护

制程过程中,涉及到的产品的接触分离最多,主要为动作过程中产生静电,防护的关键在于管控所使用的材料及工具的防静电性能,比如电阻和摩擦电压;

S20.20对于这块的要求如下:

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