一、人员防护
人员是整个EPA中，产生静电最多，最难管控的一个元素。
美国ESDA对于人员接地技术要求如下：
以上为常规要求，对于要求更高的工序，为了从源头上避免静电产生，应该配备防静电服装、防静电手套、指套、防静电椅及防静电地板来降低静电的生成。
二、环境防护
环境防护主要关注空间游离静电荷的累积、空间由于其他设备造成的静电场的存在、以及由于产品静电累积产生的力学效应—吸尘，所以除了对静电管控外，还需要对空气中的颗粒浓度进行监控，二者相辅相成。
主要需要用的产品为离子化静电消除器、静电状态实时监测系统、粘尘地垫、粘尘滚筒；
S20.20对于离子化静电消除器及实时监测的要求如下：
三、制程防护
制程过程中，涉及到的产品的接触分离最多，主要为动作过程中产生静电，防护的关键在于管控所使用的材料及工具的防静电性能，比如电阻和摩擦电压；
S20.20对于这块的要求如下：
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