内部监视与测量-测量结果

要对符合性验证或日常检测检查中发现的不符合项进行记录,报告验证结果。ESD防护负责人应对不符合项进行分析、分类并报告,让管理层及时了解ESD防护体系的实施情况,对重大的不符合项应及时采取纠正措施,验证、闭合。

下图是国外企业向管理层报告ESD防护体系实施情况举例。


图中反映年度控制目标、发现的不符合项数量、分类、分布和发展趋势。图中把不符合项分为4大类:

1)与工作人员有关的不符合项。如:人员未经培训或超出认证有效期限;腕带佩戴不正确或未正确接地;未正确穿着防静电服、鞋;来访者和未经培训人员进入EPA不按规定着装、无EPA人员陪同;没有对保洁、水电维修等人员进行培训、交代在EPA的注意事项;ESDS产品在EPA内、外传递未按规定包装;在普通工作台处置ESDS产品;EPA湿度超限没有采取措施(开离子风机或去湿机)等。

2)与接地有关的不符合项。如:腕带、桌垫、地垫、仪器、烙铁等没有接到同一接地点;接地点没有标识;接地连接不良,使用普通二芯不接地电烙铁,烙铁头对地电阻超标,搪锡锅水接地等。

3)与防静电器材设施有关的不符合项。如:腕带、工作服、鞋、工作台、地板、转运车、存储柜、座椅、包装袋、周转容器等防静电性能超标,温、湿度计未经校准或超出时效;离子风机没有检定或性能不良,腕带测试仪或接地监测仪失效等。

4)与绝缘物品处置有关的不符合项。如:EPA中放置个人用品,如水杯、塑料包装袋、盒等;EPA存放与工作无关的纸质、塑料制品;工作过程必需的绝缘物品没有离开ESDS产品30cm以上的距离;EPA中使用普通胶带、塑料刷等。


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