ESD和EOS的FA经验和可靠性测试方法

到现在为止,ESD和EOS的FA测试与分析主要还是对现有失效器件采用必要的设备进行形貌、电流分布热点观察以及成分观察后对比HBM模式实验结果来确认,暂时不能在生产现场立刻获得ESD失效的依据。

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