ESD敏感器件易被静电损害的位置

在查找ESD敏感器件被静电损害的时候,往往会有人问道:这些微小的ESD敏感器件若发生了静电损害,一般会导致器件哪些位置损伤或失效;

对于一些ESD敏感器件易受到静电影响的位置:

  • 器件输入电路
  • 器件输出电路
  • 器件高阻部分

工厂内一般易受到静电损害的器件或位置的有:

  • 芯片尺寸小的器件
  • 小信号器件
  • 高频器件
  • 细小金属化部位
  • 薄氧化膜(栅氧化层)

ESD敏感器件电场较集中的位置有:

  • ESD敏感器件扩散区边缘
  • 金属化边缘
  • 器件结构尖突的位置
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