洁净室标准应参考哪份要求?

制造业中对防微污染目前是越来越重视了,但是洁净室的粉尘管控标准应参考哪份要求呢?是ISO14644,还是FS209E标准?现在我们来讲解下:

1、ISO14644是FS209E的替代标准,关于洁净室洁净度的。

2、对于洁净室压差(一般10万级以下的洁净车间,压差其控制在5Pa-10Pa,根据14644的要求是控制在2Pa,而NEBB标准换算过来是12.45Pa和5Pa,但是在国内的标准和行标基本就改成了10Pa和5Pa)的推荐技术要求在IEST(制定团队为:美国TC209委员会)的相关文件有规定。

3、洁净室施工可参考GMP标准要求进行。

如果还想了解洁净室及其受控制环境,可查IEST-RP-CC体系文件,如:净化布,过滤器,洁净服,洁净室测试,洁净室管理,ESD,手套指套等

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